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发明名称
摘要
申请公布号	JP2525101(B2)	申请公布日期	1996.08.14
申请号	JP19920064217	申请日期	1992.03.19
申请人	GTC KK	发明人	KYAMA SEIICHI
分类号	H01L21/268;H01L21/20;H01L21/324;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20	主分类号	H01L21/268
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