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摘要
申请公布号
JP2524869(B2)
申请公布日期
1996.08.14
申请号
JP19900194136
申请日期
1990.07.23
申请人
DAINIPPON SCREEN MFG
发明人
TANAKA MASATO
分类号
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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