发明名称 Sensor chip
摘要
申请公布号 EP0707218(A3) 申请公布日期 1996.08.14
申请号 EP19950113138 申请日期 1995.08.22
申请人 LUST ANTRIEBSTECHNIK GMBH 发明人 DETTMANN, FRITZ;LOREIT, UWE;KUNZE, JUERGEN;LUST, KARL-HEINZ
分类号 G01R19/00;G01R33/022;G01R33/09;H01L43/08;(IPC1-7):G01R33/09 主分类号 G01R19/00
代理机构 代理人
主权项
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