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发明名称
摘要
申请公布号 JP2523877(B2) 申请公布日期 1996.08.14
申请号 JP19890153433 申请日期 1989.06.15
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP 发明人 SAWADA SHIGEKI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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