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经营范围
发明名称
Ion implanting apparatus and method
摘要
申请公布号
EP0491311(B1)
申请公布日期
1996.08.14
申请号
EP19910121497
申请日期
1991.12.16
申请人
APPLIED MATERIALS INC.
发明人
BRIGHT, NICHOLAS;ITO, HIROYUKI;MORGAN, TIMOTHY GREY
分类号
C23C14/48;H01J37/02;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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