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发明名称 MANUFACTURE OF PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH1090307(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19970233578 申请日期 1997.08.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAGAO KOICHI;NAKADA YOSHIRO;OKI SHINICHI
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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