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发明名称
IC PACKAGE
摘要
申请公布号
JPH08209359(A)
申请公布日期
1996.08.13
申请号
JP19950018934
申请日期
1995.02.07
申请人
SUMITOMO METAL IND LTD
发明人
MORITA YASUYUKI;HAMADA MASATO
分类号
C23C18/52;C23C28/02;H01L23/12;(IPC1-7):C23C28/02
主分类号
C23C18/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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