| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PLANE MAGNETRON SPUTTERING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08209343(A) |
申请公布日期 |
1996.08.13 |
| 申请号 |
JP19950311470 |
申请日期 |
1995.11.30 |
| 申请人 |
AT & T CORP |
发明人 |
DENISU RAIRU KURAUSU;DEIBUITSUDO SHII UOJIEUODA |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
