发明名称 BRUSH ROTATING TYPE BOARD CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08206617(A) 申请公布日期 1996.08.13
申请号 JP19950039037 申请日期 1995.02.03
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 OTANI MASAMI
分类号 B08B1/04;B08B7/04;H01L21/304;(IPC1-7):B08B7/04 主分类号 B08B1/04
代理机构 代理人
主权项
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