发明名称 GRAPHITE PARTS FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH08208372(A) 申请公布日期 1996.08.13
申请号 JP19950017916 申请日期 1995.02.06
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 KANO MASATO
分类号 C30B15/10;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/10 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利