DISPOSICION DE ESPEJOS COMPUESTOS POR PELICULAS DELGADAS ACCIONADAS PARA USO EN UN CONJUNTO DE PROYECCION OPTICA Y METODO PARA FABRICAR LA MISMA

摘要

CARACTERIZADO POR SER UN CONJUNTO DE M*N ESPEJOS ACCIONADOS DE PELICULA DELGADA,EN UNA DISPOSICION DE PROYECCION OPTICA QUE COMPRENDE: A) UNA MATRIZ ACTIVA QUE INCLUYE: 1) UN SUBSTRATO; 2) UN CONJUNTO DE M*N TRANSISTORES; 3) UN CONJUNTO DE M*N PARES DE TERMINALES DE CONEXION, DONDE LOS TERMINALES DE CONEXION EN CADA PAR ESTAN ELECTRICAMENTE CONECTADOS A CADA UNO DE LOS TRANSISTORES. B) UN CONJUNTO DE M*N MIEMBROS ELASTICOS, HECHOS DE UN MATERIAL CERAMICO, PROVISTOS CON UN EXTREMO DISTAL Y UN EXTREMO PROXIMAL, UNA SUPERFICIE SUPERIOR Y UNA INFERIOR; C) UN CONJUNTO DE M*N PARES DE ESTRUCTURAS DE ACCIONAMIENTO; D) UN CONJUNTO DE M*N PARES DE MIEMBROS DE SOPORTE, UTILIZADOS PARA SOSTENER CADA UNO DE LOS MIEMBROS ELASTICOS EN SU LUGAR, HECHOS DE MATERIAL CERAMICO; E) UN CONJUNTO DE M*N ESPEJOS PARA REFLEJAR RAYOS DE LUZ, PROVISTOS CON UN PAR DE CONDUCTOS HECHOS DE UN METAL