| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08203823(A) |
申请公布日期 |
1996.08.09 |
| 申请号 |
JP19950011213 |
申请日期 |
1995.01.27 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
YATAGAI SATORU;TOMIYAMA YASUYOSHI |
| 分类号 |
C01B31/36;C30B23/08;H01L21/20;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
C01B31/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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