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发明名称 FORMATION OF VIA HOLE
摘要
申请公布号 JPH08203870(A) 申请公布日期 1996.08.09
申请号 JP19950009088 申请日期 1995.01.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMANAKA MICHINARI;KUBOTA MASABUMI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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