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发明名称 ROTARY TABLE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH08201229(A) 申请公布日期 1996.08.09
申请号 JP19950014284 申请日期 1995.01.31
申请人 NIKON CORP 发明人 NAKAMURA ETSURO
分类号 G01N1/00;G01M11/02;(IPC1-7):G01M11/02 主分类号 G01N1/00
代理机构 代理人
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