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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH08204204(A) 申请公布日期 1996.08.09
申请号 JP19950019939 申请日期 1995.01.13
申请人 L JII SEMIKON CO LTD 发明人 MIN HA PAKU
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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