| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08203833(A) |
申请公布日期 |
1996.08.09 |
| 申请号 |
JP19950007024 |
申请日期 |
1995.01.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ODA KATSUYA;KIYOTA YUKIHIRO;ONOUCHI YUKIHIRO;OUE EIJI;WASHIO KATSUYOSHI |
| 分类号 |
C30B25/02;C23C16/44;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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