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发明名称
METHOD FOR FORMING CONTACT STRUCTURE
摘要
申请公布号
JPH08203845(A)
申请公布日期
1996.08.09
申请号
JP19950006883
申请日期
1995.01.20
申请人
SONY CORP
发明人
YAMAMOTO HIROSHI
分类号
H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/52;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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