INDUCTIVE COUPLING PLASMA GENERATING DEVICE,申请号JP19950009499-传众专利搜索

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发明名称	INDUCTIVE COUPLING PLASMA GENERATING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH08203692(A)	申请公布日期	1996.08.09
申请号	JP19950009499	申请日期	1995.01.25
申请人	HITACHI LTD	发明人	NISHITARUMI TAKESHI
分类号	G01N21/73;H05H1/28;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/28	主分类号	G01N21/73
代理机构		代理人
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