发明名称 SEMICONDUCTOR COMPOSITE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH08204209(A) 申请公布日期 1996.08.09
申请号 JP19950012299 申请日期 1995.01.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 MURAKAMI SUSUMU;SHIMADA SATOSHI;UKAI SEIICHI;TAKAHASHI YUKIO;SHIMIZU SHUICHI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;G01L13/06;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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