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发明名称 ION SOURCE AND ION GENERATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08203458(A) 申请公布日期 1996.08.09
申请号 JP19950013155 申请日期 1995.01.30
申请人 NEC CORP 发明人 UENO KAZUHIKO
分类号 H01J27/14;H01J27/08;H01J37/08;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J27/14
代理机构 代理人
主权项
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