发明名称 PIEZOELECTRIC DRIVING DEVICE FOR DRIVING PROBE OF SCANNING PROBE TYPE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH08201401(A) 申请公布日期 1996.08.09
申请号 JP19950012243 申请日期 1995.01.30
申请人 NIKON CORP 发明人 NAKANO KATSUSHI
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q90/00;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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