发明名称 INCHING MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH08201399(A) 申请公布日期 1996.08.09
申请号 JP19950007468 申请日期 1995.01.20
申请人 HITACHI CONSTR MACH CO LTD 发明人 MURAYAMA TAKESHI;HOSHINO YOSHIHIRO
分类号 G01N37/00;G01Q10/04;G01Q90/00;H01J37/28;H01L41/09;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01N37/00
代理机构 代理人
主权项
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