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发明名称 MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08204008(A) 申请公布日期 1996.08.09
申请号 JP19950012412 申请日期 1995.01.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SUNADA TAKESHI
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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