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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08203844(A) 申请公布日期 1996.08.09
申请号 JP19950006799 申请日期 1995.01.20
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 TERAJIMA JIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/329;H01L29/41;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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