发明名称 WIRING FORMATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08204013(A) 申请公布日期 1996.08.09
申请号 JP19950231356 申请日期 1995.09.08
申请人 L JII SEMIKON CO LTD 发明人 YANGUUKUUON JIYUN
分类号 H01L21/3205;H01L21/203;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址