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发明名称 Chemical vapor codeposition of copper and aluminium alloys
摘要
申请公布号 GB2297560(A) 申请公布日期 1996.08.07
申请号 GB19960002980 申请日期 1996.02.01
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 STEPHEN MARK, FINE;DAVID ARTHUR, BOHLING
分类号 C23C16/06;C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/18 主分类号 C23C16/06
代理机构 代理人
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