发明名称 Method of forming a compound semiconductor film
摘要
申请公布号 GB9611471(D0) 申请公布日期 1996.08.07
申请号 GB19960011471 申请日期 1996.06.01
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA;UNIVERSITY OF NOTTINGHAM 发明人
分类号 C30B29/40;C30B23/02;H01L21/203;H01L21/205;H01L33/00;H01S5/00;H01S5/323 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
主权项
地址