发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SPUTTERING MAGNETIC TARGET MATERIALS
摘要
申请公布号 EP0724652(A1) 申请公布日期 1996.08.07
申请号 EP19950910064 申请日期 1994.10.21
申请人 MANLEY, KELLY 发明人 MANLEY,BARRY
分类号 H05H1/46;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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