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发明名称 Vacuum tweezer for carrying a semiconductor wafer
摘要
申请公布号 GB9611634(D0) 申请公布日期 1996.08.07
申请号 GB19960011634 申请日期 1996.06.04
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LIMITED 发明人
分类号 B25J15/06;H01L21/677;H01L21/683 主分类号 B25J15/06
代理机构 代理人
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