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发明名称
POLISHING DEVICE AND POLISHING CONTROL METHOD
摘要
申请公布号
JPH08197404(A)
申请公布日期
1996.08.06
申请号
JP19950026291
申请日期
1995.01.20
申请人
FUJI XEROX CO LTD
发明人
SHIOTANI TAKEKAZU
分类号
B24B13/00;(IPC1-7):B24B13/00
主分类号
B24B13/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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