| 发明名称 |
VAPORIZATION MATERIAL CRUCIBLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08199348(A) |
申请公布日期 |
1996.08.06 |
| 申请号 |
JP19950010458 |
申请日期 |
1995.01.26 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
OOYAMAGUCHI MAKIKO;SASAGAWA KOICHI;KAWAMATA KATSUHIDE |
| 分类号 |
C23C14/32;F27B14/10;H01J37/16;(IPC1-7):C23C14/32 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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