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发明名称 PLASMA ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH08199378(A) 申请公布日期 1996.08.06
申请号 JP19950011162 申请日期 1995.01.27
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 HAYAMIZU TAICHI;YAMAMOTO NOBUHIKO
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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