| 主权项 |
1.一种蒸汽产生方法,包含诸步骤: 使做蒸汽媒介用的气体其流速加速至音速并且增 加该流速; 供应待蒸发液体给其流速已被增加的该气体,突然 地产生冲激波;以及 利用所产生冲激波的能量使该液体成雾状。2.如 申请专利范围第1项之蒸汽产生方法,其进一步包 含藉由加热装置使雾状液体加热的步 骤。3.一种蒸汽产生装置,包含: 收敛--发散喷嘴,具有供做为蒸汽媒介之气体用的 入口埠与出口埠,该收敛-发散喷嘴包含 了被形成为从该入口埠朝向该出口埠变细及变窄 的收敛喷嘴部份,以及被形成为从该收敛喷 嘴部份朝向该出口埠膨胀的发散喷嘴部份;以及 供待蒸发液体用的供应埠,该供应埠开启至该收敛 --发散喷嘴的该发散喷嘴部份。4.如申请专利范围 第3项之蒸汽产生装置,进一步包含了使该待蒸发 液体加热用的加热装置 ,该加热装置系提供于接近该发散喷嘴部份与该待 蒸发液体其供应埠之处或在其下游。5.如申请专 利范围第3项之蒸汽产生装置,进一步包含了: 分支线,连接该气体的该入口埠侧到该气体的该出 口埠侧;以及 提供于该分支线内之压力调节装置,用以调节在该 入口埠侧与该出口埠侧之间的压力关系。6.如申 请专利范围第4项之蒸汽产生装置,其中该加热装 置具有加热体,其在该气体的流动 方向具有至少两阶段的热功率。7.如申请专利范 围第6项之蒸汽产生装置,其中该加热体的该热功 率于该气体的流动方向从 密变化到疏。8.如申请专利范围第4项之蒸汽产生 装置,其中该加热装置具有多数个加热体,各自在 该气 体的流动方向具有至少两阶段的热功率。9.如申 请专利范围第8项之蒸汽产生装置,其中该多数个 加热体每个的该热功率在该气体的 流动方向从密变化到疏。10.如申请专利范围第8项 之蒸汽产生装置,其中该多数个加热体能够彼此独 立地控制其热功 率。11.如申请专利范围第3项之蒸汽产生装置,其 中该待蒸发液体用的该供应埠在该发散喷嘴部 份之内被开启至该发散喷嘴部份。12.如申请专利 范围第3项之蒸汽产生装置,其中该待蒸发液体用 的该供应埠在该发散喷嘴部 份的上游被开启至该发散喷嘴部份。13.如申请专 利范围第3项之蒸汽产生装置,进一步包含了在该 待蒸发液体的供应线内所提供 的冷却装置,该供应线系被连接至该待蒸发液体的 该供应埠。图示简单说明: 第一图是清洁处理系统的概要平面图,依据本发明 之蒸汽产生装置的较佳实施例应用于 其; 第二图是第一图之清洁处理系统的概要侧视图; 第三图是具有依据本发明之蒸汽产生装置其较佳 实施例的乾燥处理装置之概要方块图; 第四图是依据本发明之蒸汽产生装置其较佳实施 例的截面图; 第五图是展示在当做本发明之加热装置的加热器 以及具有均匀热功率的加热器之间温度 分布关系的图面; 第六图是展示在气流产生装置中在主压力以及乾 燥气体的流速之间关系的图面; 第七图(a)至第七图(d)是依据本发明之蒸汽产生装 置其较佳实施例的截面图; 第八图是乾燥处理装置之处理室其一实施例的概 要截面图; 第九图是乾燥处理装置另一实施例的概要方块图, 具有依据本发明之蒸汽产生装置的较 佳实施例; 第十图是依据本发明之蒸汽产生装置其另一较佳 实施例的截面图; 第十一图(a)是依据本发明之蒸汽产生装置其较佳 实施例之加热器另一实施例的截面图 ,并且第十一图(b)是第十一图(a)之加热器其主要部 份的局部截面图;以及 第十二图是依据本发明之蒸汽产生装置其较佳实 施例之加热器另一实施例的截面图。 |
