| 主权项 |
1.一种化学机械研磨机研磨剂及去离子水回收装 置,为一连接于化学机械研磨机之废液排流 管处之装置,为以控制电路、研磨剂储存槽、研磨 剂过滤器、去离子水过滤器以及多数控制 阀所构成,其特征在于: 该控制电路,为可接收化学机械研磨机之控制讯号 而进行计时控制而驱动控制阀之启闭或流 向; 该研磨剂储存槽,以不产生剥落或污染之铁氟龙( PFA)或高密度聚乙烯(PE)材料构成,可供 储存由化学机械研磨机之排流管所送出之废弃的 研磨剂; 该研磨剂过滤器,可接收研磨剂储存槽送出之研磨 剂,并过滤出预定微粒尺寸的研磨剂后, 再回送至化学机械研磨机的研磨剂入口处,供再利 用,而在研磨剂过滤器更连接有一循环管 至研磨剂储存槽处,令研磨剂得在储存槽与过滤器 之间不间断地循环流动,使研磨剂中之微 粒子保持在悬浮状态而不致沈淀; 该去离子过滤器,可在化学机械研磨机台处于仅进 行去离子水喷洒的状态下,接收由化学机 械研磨机排流管所送出之去离子水,经过滤去除所 含的杂质后,送往去离子水回收系统中; 该等控制阀,为分设在化学机械研磨机之排流管与 研磨剂储存槽之入口之间以及设在研磨剂 储存槽出口上,且各控制阀为受控制电路作用而启 闭; 藉以构成一可供回收化学机械研磨机研磨剂及去 离子水的回收装置者。2.如申请专利范围第1项所 述之化学机械研磨机研磨剂及去离子水回收装置, 其中该化学机 械研磨机之排流管送入处连接一可侦测流量而自 动启闭之帮浦。3.如申请专利范围第1项所述之化 学机械研磨机研磨剂及去离子水回收装置,其中该 等控制 阀为电磁阀者。4.如申请专利范围第1项所述之化 学机械研磨机研磨剂及去离子水回收装置,其中该 位在研 磨剂储存槽入口处之控制阀为具有多向出口,可分 别与去离子水过滤器及排放出口连接,而 可经控制电路控制其流向研磨剂储存槽、去离子 过滤器或排放出口。5.如申请专利范围第1项所述 之化学机械研磨机研磨剂及去离子水回收装置,其 中位在研磨 剂储存槽出口位置之控制阀更串接有一受控于该 控制电路之帮浦。6.如申请专利范围第1项所述之 化学机械研磨机研磨剂及去离子水回收装置,其中 该控制电 路为包括一电源供应器、一计时器/继电器控制板 ,可受化学机械研磨机送入之讯号而进行 控制阀计时启闭或改变控制阀流向者。图式简单 说明: 第一图:系本创作之系统回路配置图。 第二图:系本创作之管路配置实施例图。 第三图:系本创作之研磨剂过滤器的微粒过滤范围 示意图。 第四图:系化学机械研磨机之研磨剂的微粒尺寸分 布示意图。 |
