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Mikromechanisches Bauelement, bei dem zwischen einem beweglichen Teil (2) und einem Substrat (1) schmal begrenzte Spitzen (3) aus Dielektrikum vorhanden sind, die verhindern, dass bei der Herstellung und im Betrieb des Bauelementes das bewegliche Teil bei Auslenkung in Richtung zum Substrat auf der gegenüberliegenden Oberfläche haften bleibt (Sticking). Diese Spitzen werden hergestellt, indem eine Hilfsschicht zwischen dem Substrat und der Strukturschicht (2) durch Ätzöffnungen (4) hindurch soweit ausgeätzt wird, bis davon nur die solche Spitzen bildenden Schichtanteile (3) übrigbleiben. |
