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发明名称 Neuartige Siliziumhalbleiterscheibe
摘要
申请公布号 DE9321175(U1) 申请公布日期 1996.08.01
申请号 DE19930021175U 申请日期 1993.12.17
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人
分类号 C30B15/00;C30B15/36;H01L31/036;H01L31/068;H01L31/18 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
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