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发明名称 Vorrichtung des Vakuumtyps zum Halten eines Substrats
摘要
申请公布号 DE69117680(T2) 申请公布日期 1996.08.01
申请号 DE19916017680T 申请日期 1991.11.28
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MARUMO, MITSUJI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号 H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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