| 发明名称 |
Isolatorschicht für ein eine aktive Diamantschicht aufweisendes mikroelektronisches Bauteil mit einer durch die Isolatorschicht elektrisch isolierten Metallschicht als Elektrode |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19743495(C2) |
申请公布日期 |
2001.11.22 |
| 申请号 |
DE1997143495 |
申请日期 |
1997.10.01 |
| 申请人 |
DAIMLERCHRYSLER AG |
发明人 |
BOETTGER, ECKART;NITZ, MICHAEL;ZACHAI, REINHARD |
| 分类号 |
H01L21/04;H01L29/51;(IPC1-7):H01L21/314;H01L29/78;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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