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发明名称
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申请公布号 JP2519709(B2) 申请公布日期 1996.07.31
申请号 JP19870054110 申请日期 1987.03.11
申请人 ULVAC CORP 发明人 FUKUI RYOTA;TAKAGI KENICHI;KIKUCHI RIICHI;TAKAYAMA KAZUO;TONEGAWA AKIRA
分类号 C23C14/22;C23C14/32;C23C14/48;H01J27/08;H01J37/08;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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