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发明名称
PHOTOSENSITIVE COMPOSITION
摘要
申请公布号
KR960010424(B1)
申请公布日期
1996.07.31
申请号
KR19870004281
申请日期
1987.05.01
申请人
AMERICAN HOECHST CORPORATION
发明人
POTVIN, ROBERT E.;ALBAN, JONAS O.;SOBODACHA, CHESTER J.
分类号
G03C1/72;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022
主分类号
G03C1/72
代理机构
代理人
主权项
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