| 主权项 |
1.一种螺齿杆的制造方法,其旋转轴与基板面水平之螺齿杆的制造方法系由:在基板上涂覆感光剂,且由于控制曝光量而在感光剂上形成可供齿轮旋转之成为与基板间隙部分的领域的制程;以感光剂作为光罩,进行复写蚀刻的制程;于复写蚀刻后,堆积与齿轮不同的材料,于所堆积的材料中,进行去除成为与基板间隙部分的领域以外之领域的制程;在基板上涂覆感光剂的制程;利用曝光量控制法,在感光剂上将齿轮下半部分之模型的形状曝光,接着进行显影、硬化的制程;以感光剂作为光罩,在基板所堆积之与齿轮不同的材料上,将齿轮下半部分之模型复写蚀刻而成形的制程;在齿轮的成形领域,将齿轮的材料堆积在基板上,并在所堆积的齿轮材料上涂覆感光剂的制程;利用曝光量控制法,在所涂覆的感光剂上制造齿轮之上半部分的制程;利用复写蚀刻法,将形成在上部之齿轮上半部分的形状,蚀刻在底层材料以进行复写形成的制程;去除存在基板与齿轮之间的材料,以形成间隙的制程所构成为其特征。2.一种螺齿杆的制造方法,其旋转轴与基板面垂直之螺齿杆的制造方法系由:在基板上形成相当于轴承部、基板与齿轮之间隙的部分的制程;将齿轮之材料及感光剂,在基板上只堆积一段螺旋的制程;控制曝光量的使感光剂曝光,以形成一圈螺旋形状的制程;将感光剂的形状进行复写蚀刻,以形成齿轮之基座的制程;将与构成齿轮之材料不同的材料堆积在基板上,并在其上堆积感光剂,接着于图案转移微影制程中,利用描绘有轮状图案的光罩进行曝光、显影、蚀刻,在齿轮槽沟的部分形成残留材料后,进行去除抗蚀膜的A制程;将齿轮之材料及感光剂,在基板上只堆积一段螺旋,控制曝光量的使感光剂曝光,以形成一圈螺旋形状,并将感光剂的形状进行复写蚀刻,制造形成齿轮之突出部的部分及齿轮之中心部的B制程;直到所要的齿数为止,重复A制程及B制程,以形成由齿轮之材料及与该齿轮之不同材料所构成的积层的制程;将相当于上侧间隙部分的材料堆积在上部轴承部之间,并在其上形成轴承部的制程;及将与上下接续的材料去除的制程所构成为其特征。3.一种正齿轮的制造方法,其旋转轴与基板面水平之正齿轮的制造方法系由:在基板上制作槽沟,且埋入与齿轮及基板不同之材料后,基板上涂覆感光剂;利用曝光量控制法进行曝光,以形成正齿轮之下半部分的制程;利用复写蚀刻,在与齿轮及基板不同材料上,进行形成相当于齿轮之下半部分的型框的制程;将齿轮之材料堆积,且在齿轮材料上涂覆感光剂,并利用曝光量控制法进行曝光,以形成齿轮之上半部分的形状的制程;复写蚀刻在底层材料上,以形成齿轮的制程;除去基板与齿轮之间隙部分的材料的制程所构成为其特征。4.一种正齿轮的制造方法,其旋转轴与基板面垂直之斜齿轮的制造方法系由:在基板上制造槽沟,且将此槽沟堆积与齿轮及基板不同之材料的制程;在形成槽沟之基板上堆积齿轮之材料,并在其上涂覆感光剂的制程;利用曝光量控制法进行曝光,以形成斜齿轮之形状的制程;进行复写蚀刻,在底层材料形成斜齿轮的制程;及除去基板与齿轮间之材料的制程所构成为其特征。5.依申请专利范围第2.3.4或5项所述之方法被制成之齿轮为其特征。图式简单说明:第1图:圆柱形之螺齿杆的上视图。第2图:圆柱形之螺齿杆的侧视图。第3图:说明本发明第一实施例之微型机械用旋转轴与基板面水平之螺齿杆制造方法的上视图。第4图:说明本发明第一实施例之微型机械用旋转轴与基板面水平之螺齿杆制造方法的剖面图。第5图:说明本发明第二实施例之微型机械用旋转轴与基板面垂直之螺齿杆制造方法的上视图。第6图:说明本发明第二实施例之微型机械用旋转轴与基板面垂直之螺齿杆另一制造方法的上视图。第7图:说明本发明第三实施例之微型机械用旋转轴与基板面水平之正齿轮制造方法的上视图。第8图:说明本发明第三实施例之微型机械用旋转轴与基板面水平之正齿轮制造方法的剖面图。第9图:说明本发明第三实施例之微型机械用旋转轴与基板面垂直之斜齿轮制造方法的侧视图。第10图:说明本发明第四实施例之微型机械用旋转轴与基板面垂直之斜齿轮制造方法的剖面图。第11图:说明本发明第五实施例之微型机械用旋转轴与基板面倾斜之齿轮制造方法的立体图。第12图:说明本发明第五实施例之微型机械用旋转轴与基板面倾斜之齿轮制造方法的剖面图。第13图:本发明另一实施形态之微型机械用磁气式齿轮及静电气式齿轮的完成状态,旋转轴与基板面水平之螺齿杆齿轮的上视图。第14图:本发明另一实施形态之微型机械用磁气式齿轮及静电气式齿轮的完成状态,旋转轴与基板面垂直之螺齿杆齿轮的侧视图。第15图:本发明另一实施形态之微型机械用磁气式齿轮及静电气式齿轮的完成状态,旋转轴与基板面水平之正齿轮的侧视图。第16图:本发明另一实施形态之微型机械用磁气式齿轮及静电气式齿轮的完成状态,旋转轴与基板面垂直之斜齿轮的侧视图。第17图:旋转轴与基板面垂直之正齿轮的立体图。第18图:螺齿杆及螺齿杆齿轮之组合的透视图。 |
