| 发明名称 | 制作彩色滤光片或相关物的背向光致剥离方法 | ||
| 摘要 | 本发明的名称是制作彩色滤光片或相关物的背向光致剥离方法，属于微电子学工艺技术领域，传统的石板印刷术、照相印刷术和电镀工艺制备工序多、时间长，原材料有毒和成本高，本发明的目的在于克服上述缺点。采用的方法是从背向用光照射基底，使欲剥离物质从下面用光往上被剥离，保证了剥离的精确度，简化了工序，节省了时间，减少了有毒物质，节约了能量和降低了成本，是一个很好的值得推广的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1127890A | 申请公布日期 | 1996.07.31 |
| 申请号 | CN95100742.4 | 申请日期 | 1995.01.25 |
| 申请人 | 孙宏业 | 发明人 | 孙宏业;陈晓升;泰德·当 |
| 分类号 | G02B5/23 | 主分类号 | G02B5/23 |
| 代理机构 | 南开大学专利事务所 | 代理人 | 解松凡;胡安朋 |
| 主权项 | 1.利用通过透明基底的照射光除去基底表面物质的制作彩色滤光片或相关物的背向光致剥离法，其特征在于准备一个光透明基底，该基底有一正面和一个背面，基底的正面与其上的欲剥离物质之间形成一个交界面，用一定能量、角度的光线照射基底的背面，使在交界面部分欲剥离物质能够吸收足够的能量，状态发生急剧的变化，从而从基底上除去某一区域欲剥离物质，形成一个空区 | ||
| 地址 | 300074天津市南开区复康路复康里17-2-602 | ||