发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08195391(A) |
申请公布日期 |
1996.07.30 |
申请号 |
JP19950004807 |
申请日期 |
1995.01.17 |
申请人 |
NIPPONDENSO CO LTD |
发明人 |
OBA NOBUKAZU;FUKADA TAKESHI;SAKAI MINEICHI;SUZUKI YASUTOSHI |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/316;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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