发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08195391(A) 申请公布日期 1996.07.30
申请号 JP19950004807 申请日期 1995.01.17
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 OBA NOBUKAZU;FUKADA TAKESHI;SAKAI MINEICHI;SUZUKI YASUTOSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/316;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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