| 发明名称 |
STRAINLESS BONDING METHOD FOR MONOCRYSTALLINE SILICON LAMINATE STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08195333(A) |
申请公布日期 |
1996.07.30 |
| 申请号 |
JP19950004694 |
申请日期 |
1995.01.17 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KANAMARU MASATOSHI;KOIDE AKIRA;KONO AKIOMI |
| 分类号 |
H01L21/02;B81C3/00;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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