| 主权项 |
1.一种电脑所实施之通讯方法,作为在具有处理舱室之处理模组之计算系统以及第一感应器之间通讯,包含以下步骤:将处理模组之计算系统起始化;将第一感应器起始化,该感应器可量测在处理舱室中之第一参数;第一感应器至处理模组之计算系统而传送一连接讯息;自处理模组之计算系统至第一感应器而传送一指令以得到可报告之规格;以及自第一感应器至处理模组而传送一可报告规格讯息。2.如申请专利范围第1项之电脑所实施之通讯方法,进一步包含以下步骤:在处理模组之计算系统中产生一连接监视工作;自位于处理模组之计算系统中之连接监视工作,产生第一感应器测量工作;自第一感应器至处理模组之计算系统而传送得到可报告规格指令之认知;以及自处理模组之计算系统至第一感应器而传送可报告规格讯息之认知。3.如申请专利范围第2项之电脑所实施之通讯方法,进一步包含以下步骤:自第一感应器至处理模组之计算系统而传送一指令以得到警示表格指令;自处理模组之计算系统至第一感应器而传送指令之认知以得到警示表格;自处理模组之计算系统至第一感应器而传送警示表格;以及第一感应器至处理模组之计算系统而传送警示表格之认知。4.如申请专利范围第3项之电脑所实施之通讯方法,进一步包含以下步骤:自第一感应器至处理模组之计算系统而传送一指令以得到时间以及起始资料;自处理模组之计算系统至第一感应器而传送命令之认知以得到时间以及起始资料;自处理模组之计算系统至第一感应器而传送时间以及起始资料;以及自第一感应器至处理模组之计算系统而传送时间以及起始资料之认知。5.如申请专利范围第4项之电脑所实施之通讯方法,进一步包含以下步骤:自处理模组之计算系统至第一感应器而传送相关于在处理舱室动作执行之处理相关指令;执行在处理舱室中之动作,其中该动作系相关于半导体相关装置之处理;以及第一感应器至处理模组之计算系统而传送处理相关指令之认知。6.如申请专利范围第5项之电脑所实施之通讯方法,进一步包含以下步骤:起始第二感应器,该感应器系可量测位在处理舱室中之第二参数;自第二感应器至处理模组之计算系统而传送一连接讯息;自处理「至第二感应器而传送一指令以得到可报告规格;自第二感应器至处理模组之计算系统而传送可报告规格讯息;起始化第三感应器,该感应器可量测位在处理舱室中之第三参数;自第三感应器至处理模组之计算系统而传送连接讯息;自处理模组之计算系统至第三感应器以传送一指令以得到可报告规格;以及自第三感应器至处理模组之计算系统以传送可报告规格讯息。7.如申请专利范围第6项之电脑所实施之通讯方法,进一步包含以下步骤:自位于处理模组之计算系统中之连接监视工作,产生第二感应器测量工作;自第二感应器至处理模组之计算系统而传送得到可报告规格之指令的认知;自处理模组之计算系统至第二感应器而传送可报告规格讯息之认知;自未在处理模组之计算系统中之连接监视工作而产生第三感应器讯息工作;自第三感应器至处理模组之计算系统以传送得到可报告规格指令之认知;以及自处理模组之计算系统至第三感应器以传送可报告规格讯息之认知。8.如申请专利范围第7项之电脑所实施之通讯方法,进一步包含:自第二感应器至处理模组之计算系统而传送一指令以得到警示表格;自处理模组之计算系统至第二感应器以传送得到指令表格之命令之认知;自处理模组之计算系统至第二感应器而传送警示表格;自第二感应器至处理模组之计算系统以传送警示表格之认知;自第三感应器至处理模组之计算系统以传送得到警示表格之指令;自处理模组之计算系统至第三感应器以传送得到警示表格之指令之认知;自处理模组之计算系统至第三感应器以传送警示表格;以及自第三感应器至处理模组之计算系统以传送警示表格之认知。9.如申请专利范围第8项之电脑所实施之通讯方法,进一步包含以下步骤:自第二感应器至处理模组之计算系统以传送得到时间以及起始资料之指令;自处理模组之计算系统至第二感应器以传送得到时间以及起始资料之指令之认知;自处理模组之计算系统至第二感应器以传送时间以及起始资料;自第二感应器至处理模组之计算系统以传送时间以及起始资料之认知;自第三感应器至处理模组之计算系统以传送得到时间以及起始资料之指令;处理模组之计算系统至第三感应器以传送得到时间以及起始资料之指令之认知;处理模组之计算系统至第三感应器以传送时间以及起始资料;以及自第三感应器至处理模组之计算系统以传送时间以及起始资料之认知。10.一种半导体相关装置之处理设备,包含:一处理舱室做微处理半导体相关装置;一电脑系统作为控制处理舱室,且电连接至该处理舱室;一网路,电连接至计算系统;一第一感应器,电连接至网路中;一连接监视工作,在计算系统被起始之后,而产生在计算系统中;以及一第一感应器讯息工作,其系在第一感应器起始化与计算系统之连接之后而自未在处理模组之计算系统中连接监视工作而被产生。11.如申请专利范围第10项之设备,进一步包含:第二感应器,电连接至网路;以及一第二感应器讯息工作,其系在第二感应器起始化与计算系统之连接之后而自未在处理模组之计算系统中连接监视工作而被产生。12.如申请专利范围第11项之设备,进一步包含:第三感应器,电连接至网路;以及一第三感应器讯息工作,其系在第三感应器起始化与计算系统之连接之后而自未在处理模组之计算系统中连接监视工作而被产生。13.如申请专利范围第12项之设备,其中该第一感应器、第二感应器以及第三感应器系作为用户端而连接至处理模组之计算系统。14.如申请专利范围第11项之设备,其中该第一感应器、第二极体以及第三感应器系为热可置换随插即用。15.如申请专利范围第14项之设备,其中该计算系统进一步包含一心跳讯息,其在当假如计算系统在一定之时间周期中不接收来自感应器之讯息时,而发出一心跳讯息至感应器。图式简单说明:图1系为本发明之较佳实施例之处理模组以及感应器之结构图。图2A系为本发明之实施例所使用之计算系统之立体图。图2B系为图2A所示之计算系统之方块图。图3系为本发明之一较佳实施例之另一结构图。图4系为藉由处理模组计算系统以及感应器之间交换资料之资料流程图。 |
