发明名称 |
PLASMA CVD FILMING METHOD AND MAGNETIC RECORDING MEDIUM PRODUCED THEREBY |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08194942(A) |
申请公布日期 |
1996.07.30 |
申请号 |
JP19950004872 |
申请日期 |
1995.01.17 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
GOTO YOSHIKI;MURAI MIKIO;TAKAHASHI KIYOSHI;ODAGIRI MASARU |
分类号 |
C23C16/50;G11B5/64;G11B5/66;G11B5/72;G11B5/84;(IPC1-7):G11B5/84 |
主分类号 |
C23C16/50 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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