发明名称 PLASMA CVD FILMING METHOD AND MAGNETIC RECORDING MEDIUM PRODUCED THEREBY
摘要
申请公布号 JPH08194942(A) 申请公布日期 1996.07.30
申请号 JP19950004872 申请日期 1995.01.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 GOTO YOSHIKI;MURAI MIKIO;TAKAHASHI KIYOSHI;ODAGIRI MASARU
分类号 C23C16/50;G11B5/64;G11B5/66;G11B5/72;G11B5/84;(IPC1-7):G11B5/84 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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