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发明名称 1,3-BIS(4-T-BUTOXYCARBONYLMETHYLOXYPHENYLMETHYL)-4,6-BIS-T-BUTOXYCARBONYLMETHYLOXYBENZENE AND ITS DERIVATIVE
摘要
申请公布号 JPH08193053(A) 申请公布日期 1996.07.30
申请号 JP19950020954 申请日期 1995.01.13
申请人 SHIN ETSU CHEM CO LTD 发明人 WATANABE ATSUSHI;ISHIHARA TOSHINOBU;YAGIHASHI FUJIO
分类号 G03F7/004;C07C69/712;H01L21/027;(IPC1-7):C07C69/712 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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