发明名称 INSPECTION OF INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND PERIPHERAL CIRCUIT OF INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08194035(A) 申请公布日期 1996.07.30
申请号 JP19950218904 申请日期 1995.08.28
申请人 S G S THOMSON MICROELECTRON LTD 发明人 ROBAATO BIITO
分类号 G01R31/28;G06F11/27;G11C17/00;G11C29/00;G11C29/12;(IPC1-7):G01R31/28;G11C16/06 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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