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发明名称 FABRICATING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR960010334(B1) 申请公布日期 1996.07.30
申请号 KR19910016501 申请日期 1991.09.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND. K.K. 发明人 YASUI, TAKATOSHI;KUDO, CHIAKI;NAKAO, ICHIRO;HUJI, TOYOKAZ;TERAI, YUKA;IMAI, SINICHI;YAMAMOTO, HIROSHI;NAITO, YASUSHI
分类号 H01L21/3105;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
主权项
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