| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR FILM FORMING METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08195347(A) |
申请公布日期 |
1996.07.30 |
| 申请号 |
JP19950003830 |
申请日期 |
1995.01.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MAEDA YOSHIHIRA;FURANSOWA RUBURAN;MINEMURA TETSUO |
| 分类号 |
C23C16/24;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
